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回收直拉式单晶炉+绍兴嵊州分子泵回收的公司

发布:2024/5/8 6:35:56 来源:shxj365
直拉式单晶炉绍兴嵊州分子泵的99%以上的集成电路是硅集成电路 ,生产集成电路所需要的单晶硅 ,是在硅结晶生长始时 ,用提拉的法制成的。在单晶硅生产过程中 ,对晶体的提拉速度有十分严格的要求 ,从某种程度上讲提拉速度的控制好坏将直接影响到晶体的质量。对单晶硅生产过程中的提拉速度控制系统进行研究有实际意义。其中用量大和用途广泛的是半导体硅。当今 95%以上的半导体器件是用硅材料的 单晶炉提拉速度控制系统的设计与分析1 引 言半导体材料是半导体工业的基础材料 图 1示出了单晶炉提拉速度控制系统在单晶硅生产中的作用。提拉杆的运动是靠驱动电机通过减速器 线性精度大于± 2 %。关电源有两种主要的工作方式:正激式变换和升压式变换。尽管它们各部分的布置差别很小,但是工作过程相差很大,在特定的应用场合下各有优点。1,关:电力电子器件工作在关状态而不是线性状态2,高频:电力电子器件工作在高频而不是接近工频的低频3,直流:关电源输出的是直流而不是交流。

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9,直径80以下工件的横截面, 10,各种手工工具的淬火(锤子,斧头,管钳,断线钳), 11,各种汽车工具的热变形(如套筒扳手), 12,汽车,托车零部件的局部热。关电源比线性电源会产生更多的干扰,对共模干扰敏感的用电设备,应采取接地和屏蔽措施,按ICE1000,EN61000,FCC等EMC限制,关电源均采取EMC电磁兼容措施,因此关电源一般应带有EMC电磁兼容滤波器。如利德华福技术的HA系列关电源,将其FG端子接大地或接用户机壳,方能满足上述电磁兼容的要求。

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本文拟采用有限元分析的方法,对单晶炉的提拉系统进行分析。会严重地影响单晶体的内在品质。因此,避免提拉系统的晃动是单晶炉结构设计的关键点之一。在生产实际中发现,某型号单晶炉的提拉系统在工作转速接近13~14r/min范围时。不能出现蠕动和摆动。提拉系统的晃动会引起生长瞬间微观扩散层的变化,造成有效分凝系数的变动,导致微观掺杂剂浓度分布的径向不均匀,引起对流情况不稳定,导致生长时固液界面过冷度的变化。目前的单晶炉大部分采用软轴提拉系统。由于受到液/固相变规律的制约,单晶炉在实际工作中要求提拉机构既要旋转运动,又要上升运动,同时还要保持速度稳定。单晶炉是人工晶体的专用设备基于ANSYS软轴型单晶炉提拉系统晃动分析\人工晶体是太阳能光伏发电产业和半导体行业发展所需的核心原材料对中性好为枝晶生长条件[1]提拉系统的软轴会出现明显的晃动找出引起提拉系统软轴晃动。分子泵,真空泵,真空流量计,plc编程,控制屏,离子泵,涡轮分子泵,螺杆真空泵,涡旋高真空泵,坩埚 速度与转速,保护气体的流速等因素的影响。其中温度主要决定能否成晶,而速度将直接影响到晶体的内在质量,而这种影响却只能在单晶拉出后通过检测才能获知。提拉速度与转速单晶炉热场的设计与单晶直径在生长过程中可受到温度温度分布合适的热场一定要根据生长设备利用引上法晶体生长实验来进行数值模拟参数的调整。(2)在第二阶段,利用数值模拟是用来确定佳的晶体生长工艺参数。

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