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3、还有传动部件的维护，比如滚珠丝杆精密杆付、涡轮、齿轮等，要保清洁度，避免见到脏东西，经常，维持设备部件的正常运行。

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晶体便会在籽晶下端生长，接着，控制籽晶生长出一段长为100mm左右，直径为3～5mm的细颈，用于高温溶液对籽晶的强烈热冲击而产生的原子排列的位错，这个过程是引晶。慢慢向上拉籽晶。通过石墨加热器产生的高温将其熔化，然后，对熔化的硅液稍降温，使之产生一定的过冷度，再用一根固定在籽晶轴上的硅单晶体（称作籽晶）插入熔体表面。把高纯度的多晶硅原料放入高纯石英坩埚原理简介首先待籽晶与熔体熔和后随后生长出一定直径规格大小的单晶柱体。具有自主知识产权。生产 TDR—JN系列全自动晶体生长炉具有自主知识产权，是采用直拉法生长P型或N型单晶硅材料的专用设备。容易控制单晶中杂质浓度，可以低电阻率单晶。根据权利要求4所述的直拉式单晶生长炉，其特征在于所述气流导向装置(20)的上端部(2-4)的外壁与该炉的保温筒(17)密封连接。6，根据权利要求5所述的直拉式单晶生长炉。根据权利要求2所述的直拉式单晶生长炉，其特征在于所述气流导向装置(20)的中轴孔(2-1)与该炉的石墨中轴(21)活动密封连接。4，根据权利要求2或3所述的直拉式单晶生长炉。该炉的一对电极柱(15)分别穿过所述电极孔(2-2)，该炉的排气口(13)与气流导向装置(20)的各通气孔(2-3)相连通。设于所述中轴孔(2-1)两侧的一对电极孔(2-2)，以及设于所述中轴孔(2-1)两侧并与该炉的排气口(13)相对的通气孔(2-3)。氩气流量为30L/min。