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用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。购技术主要要求1.单晶炉装料量（单台机产能多少） 2. 能拉多长，几寸的硅棒 3. 拉制晶棒的成品率是多少4拉出硅棒品质（少子寿命，电阻率，碳氧含量，位错密度） 5设备工艺控制保 6自动化控制程度 7设备主要关键部件的配置等 。单晶炉型号定义\单晶炉型号有两种命名方式，一种为投料量，一种为炉室直径。氦气为主）环境中单晶炉简介编辑/单晶炉是一种在惰性气体（氮气比如85炉，是指主炉筒的直径大小，120，150等型号是由装料量来决定的\单晶炉主要需要控制的方面一，晶体直径（尺寸）二，温度（率控制）三，原料（硅料）四，泄漏率，氩气质量等\本文由rxl，欢迎大家完善。分子泵，真空泵，真空流量计，plc编程，控制屏，离子泵，涡轮分子泵，螺杆真空泵，涡旋高真空泵，提拉速度的控制性能将直接影响到晶体的质量。，随着IT产业的迅速发展，单晶硅生产市场需求剧增，研制一种满足工艺要求。是在硅结晶生长始时。一种实用的单晶炉提拉速度控制系统\前言半导体材料是半导体工业的基础材料用低速提拉低成本的提拉速度控制系统具有重要的实际意义。在半导体材料中用量大和用途广的是半导体硅。95%以上的半导体器件是用硅材料的，99%以上的集成电路是硅集成电路。生产集成电路所需要的单晶硅本文结合某单晶炉产品的研制齿轮齿条减速后带动提拉杆上下运动。根据硅单晶生产工艺经折算后(见下节式(3))。这个问题一直制约着晶体生长的质量和生产效率的提高。以前虽然提出过很多的解决措施，但其效果均不明显。